一个声音响起,带着强烈的期待:
“张组,栗教授!既然菊厂他们敢保证7nm芯片交付,是不是……是不是搞定了EUV光源?!”
这个问题如同投入平静湖面的石子,瞬间激起了更大的涟漪!
尤其是刚才栗亚波神神秘秘地提到了“部分核心元器件”的说法,似乎更加印证了此人的猜测
“对啊!EUV!”
“EUV的物镜确实比DUV简单!”
“要是EUV成了几个月搞出来倒真有可能!”
众人眼睛都亮了,充满期待地看向张汝宁和栗亚波
如果真是EUV,那简直是惊天动地的突破
可张汝宁却缓缓摇头,打破了众人的幻想
“光源,依然是DUV,193nm波长”
眼神中的光芒黯淡下来
“还是DUV?”
“那……那怎么做到单次曝光7nm?”
“……”
虽然碍于张汝宁的身份和权威,没人直接质疑
但每个人脸上都写满了“不太相信”四个大字
他们都是浸淫光学系统设计多年的专家
DUV的物理极限在哪里他们心里跟明镜似的
超越这个极限?
闻所未闻!
张汝宁看着众人那副“你在逗我”的表情,心里别提有多舒坦了
实际按照常浩南的想法,虽然具体细节确实不能在长光集团公布,但大体技术路线却没有这么敏感,可以提前跟这些核心骨干透露一二
反而是张汝宁自己提出要“严格保密,以身作则”,主动要求等到了上沪微电子之后再统一公布……