这里是针对湿法,如果是用等离子体的干法刻蚀,这一步可以省略
进行了这么多步骤后,才来到观察精度和测量,也就是这次马天最直观要展示的成果——光刻精度展示
9nm的工艺,用普通的光学显微镜肯定不够看了,众人也是来到了原子力显微镜台
白衣服的工作人员把刚刚经过好几步加工的硅片放在了显微镜台上,众人可以通过仪器精细查看上面的精度了
9nm的测量结果,赫然呈现在大屏幕上
聂振远也不认为马天会故弄玄虚半天骗他,也就是说,天宇星海真的有光刻9nm精度芯片的技术
现在只要夏为有一张自己的芯片设计图,天宇星海就能最少帮他们造出9nm精度的芯片