原因,清单给我”光刻机的主要硬件零部件主要是三大系统,光源、镜头和工作台掩膜台
在28nm这个级别,这些技术都已经被各企业或者高校、研究所攻克了的,采购应该不成问题
而其他的东西,诸如自动对准系统、调教调平测量系统、掩膜和硅片的传输系统、环境与微控制系统,包括整机的灵魂和大脑整机操作系统,等等这些,只要硬件到位了,都不是问题
别忘了,卷耳智能科技的本行:AI!
事实上,纪弘这些天在华为让出的这条产线上,进行的系统重构就已经涉及到了这所有的内容
所以,系统方面完全不需要担心
当然,卷耳智能科技既然出手了,28nm肯定不会是终点
组装这个级别的光刻机,那就是试试水,顺便锻炼一下团队纪弘的最终目标肯定是
纪弘不清楚EUV的三大件和若干小件,国内企业和研究机构的进展,但他的思路很简单,那就是:关门,放AI!
简单来说就是,哪个零部件还满足不了EUV光刻机的需求,那就给哪个零部件的研究机构训练一个工业AI专门去发现问题去提升
比如:高端镜头无法满足需求,是外观的精准度和精度不够?还是内部质量和光学指标不满足需求?
那就针对性的去改良和优化机械加工和光学加工工艺
哪怕是不断的调整各种产线的参数,通过AI计算筛选出最优选择,都是一个极佳的方法
其他各种零部件,其实大同小异
交代完了陈继业,纪弘还联系了刘向东院士说明了一下情况
刘向东院士也是很诧异:“你们决定自己做光刻机了?我了解了一下沪微的情况,他们对合作不热衷,原因是他们认为自己已经到了最后时刻,马上就能实现量产和交付,自己就能搞定”
“不管什么原因吧,”纪弘也不纠结这些:“都不重要,重要的是,刘院士有没有兴趣到鼎佳来做个一个兼职?没什么要求,没事儿去看看就行”
“这……”刘向东院士有些犹豫
“我这几天一直在华东工厂,”纪弘说道:“我们利用灵犀重构了产线的光刻机系统并又花了生产工艺,将14nm工艺产线的良率提高到了97%!
“四重曝光5nm工艺,利用同样的技术预计也能够提升至65%以上”
“你们重构了阿斯麦光刻机的整机控制系统?”
“嗯”
“这……”得到了纪弘肯定回答的刘向东院士彻底惊了——这是什么概念?别人不知道他还能不清楚吗?
光刻机的硬件系统虽然复杂,但是一项项掰开来,其实还是能突破的
不说28nm,就算是EUV光刻机,大部分的技术,国内都已经实现了相关的突破
之所以光刻机的研发一直不成功,主要就是零部件太多了,一台EU