态
我也纳闷怎么会有警报声呢?”
吴菲菲说完,像是发现了什么,说道:
“等下,这里不对,分子泵过热保护?
还是头一次出现这种情况”
许秋也凑过去,他看到分子泵模块的面板上显示“警告,分子泵过热保护”,同时分子泵的转速为
再看向上方的气压计,现在是-3帕,并且数值在缓慢增大
这样看来是分子泵停止工作,只余下机械泵在工作,无法维持蒸镀舱内的真空度
他想了想,说道:
“吴菲菲,先把设备关闭吧,我们再来排查原因”
吴菲菲依次关闭了分子泵、机械泵和蒸镀机器的电源,警报声终于停了
许秋分析道:
“刚才提示的是分子泵过热保护,那有可能是散热的问题,会不会是循环水系统出现了问题呢?”
“有道理,可是循环水系统已经启动了啊”吴菲菲道
“这样吧,我先到里面看看”许秋道
循环水系统的原理很简单,它的主体是一个储水罐,内部有冷却装置,可以降低水温,还有一个进水口和一个出水口,分别引出一根管子
水从出水口流出,在管子中流动,经过需要水冷却的装置,利用水的高比热容带走大量热量,最终从进水口回到储水罐
这个装置要正常工作,储水罐内的水位需要达到一定的高度
因为循环水系统是放置在控制台和手套箱的夹缝处,旁边还有一个实验台阻挡,所以不是很好进去
平常想要开启它,都是用一根长木棍去戳它的启动按钮
许秋断掉蒸镀仪器的总电源,小心翼翼的从控制台和手套箱的缝隙处,侧身进入
脚踩在地面上,他感觉不太对劲
低头一看,地上有一摊水,从循环水系统下面的地板一直延伸出来
许秋忙关闭循环水系统并拔掉它的电源插头,防止触电
接着,他俯下身子,寻找漏水的地方,发现水正一滴滴的从出水口往外流
见状,他打开储水罐的盖子,看向它的内部
水位已经低于正常使用的下限了,而且里面的水很脏,应该是长时间没人清理
“我找到原因了,循环水的水位过低,导致无法正常运转,起到降温的作用,所以分子泵过热报警了”许秋道
“那应该是里面的水蒸发了,”吴菲菲松了一口气,说道:
“循环水已经好几个月没有换水了,这样的话,补充点去离子水进去应该就可以了”
“不,现在不仅仅是水位低的问题,”许秋道:
“循环水还漏水了”
实验室漏水可不是小事
吴菲菲把刚刚松掉的一口气又提了回来,紧张的问道:
“漏水严重吗?”
“还好我们发现的早,只漏了一点点,”许秋道:
“先用抽水泵把里面的水抽出来,然后再把地上的水用卫生纸吸干就好”
“可我们没有抽水泵啊”吴菲菲道
“魏老师