提升到了%
之后延长放置时间,从6小时、到9小时,再到12小时,效率变化的幅度并不大,就是%、%左右,这样缓慢提升着
再之后,继续延长放置时间,效率下降的幅度同样不大,也是%、%左右,可以认为是效率在短期内已经趋于了稳定
同时,“放置变好”这个现象也不是对所有体系都适用的
许秋一共研究了十七种标准体系,发现其中只有五种体系,存在“放置变好”的实验现象,另外有八种体系是“放置变差”,还有四种体系是“放置不变”
他试着给“放置变好”、“放置变差”以及“放置不变”的体系分别归了归类,然后发现:
“放置变好”、“放置变差”的体系,大多是有效层旋涂后,没有经过退火的体系,“放置不变”的体系,大多是经过退火处理的体系
退火这项实验操作,主要影响的是有效层旋涂过后残存的溶剂含量,如果不退火的话,沸点100多摄氏度的氯苯,以及沸点更高,可达200摄氏度以上的溶剂添加剂DIO等肯定会有所残留
因此,许秋认为“放置变好”、“放置变差”、“放置不变”这些实验现象,背后可以归因于:
在蒸镀舱的真空环境下,器件内残存溶剂挥发对有效层形貌的影响
对于氯苯、DIO这些溶剂来说,它们在常温常压的条件下不容易挥发
而在常温低压的条件下,就会逐渐从器件有效层中“跑出来”,扩散到外界的真空氛围中
溶剂挥发的过程,是需要一定时间的
正常蒸镀的过程持续时间只有2小时左右,不足以让有效层内部的残留溶剂完全挥发
现在把这个时间额外延长3小时以上,就可以让溶剂近乎完全挥发
溶剂挥发的过程中,也将伴随着有效层显微形貌的改变
如果这个影响是正面的,反应出来的结果就是“放置变好”,反之,就是“放置变差”
在经过退火操作的器件中,因为有效层内残留的溶剂较少,所以可以认为不存在溶剂挥发这个过程
因此,额外的放置时间对于经由退火处理的器件性能的影响并不大
可能长时间放置也会有变化,但在短时间内的表现就是“放置不变”
当然,这些都是许秋提出的观点,具体对不对,只能通过不断的实验来检验
不过,他自我感觉这套理论没什么问题,至少现阶段的实验结果,是支持他这些推论的
许秋决定之后把“真空放置”这个实验操作,与热退火、溶剂退火等并列为一种对加工工艺进行优化的方式
具体操作起来,可以晚上蒸镀完成,不打开蒸镀舱,让基片在舱里“闷一晚上”,等到第二天白天过来再进行测试
这样做,就是消耗的时间会久一些
不过,为了提升器件性能,也是值得付出的成