应付了几天亲戚后，许秋继续将主要精力投入到科研中
这几天摸索下来，许秋通过SEM等表征手段，发现搬家确实会对蒸镀设备造成影响
具体来说，就是将原先邯丹材一216实验室的条件，用于现在江弯先材522实验室的蒸镀设备，最终制备出来的薄膜实际厚度，平均会变厚10%-20%
背后的原因，许秋很快就找到了，主要是因为蒸镀检测膜厚的原理是间接法——
在蒸镀过程中，蒸镀舱中间有一个晶振片，靶材分子受热从下方的束源炉或者电加热装置扩散出来，沉积到晶振片上，形成实时的电流信号，仪器将电流信号转化为蒸镀速率信号，然后通过积分计算出实时膜厚
受到重力的影响，晶振片距离束源炉或者电加热装置垂直距离越远，单位时间内收集到的扩散出来的靶材分子数量就越少
如果晶振片的位置偏向标准位置的下方，也就是靠近束源炉或者电加热装置，就会导致检测到的蒸镀速率大于实际的蒸镀速率，从而使得实际膜厚偏薄
很容易理解，假如实际蒸镀速率是埃每秒，显示蒸镀速率是埃每秒，预期蒸镀膜厚是20埃，蒸镀50秒后，按照仪器显示的话，就已经达到了20埃的厚度，但实际上的厚度却只有10埃
反之亦然
因此，当下的情况就是在搬运的过程中，可能发生了震动，使得晶振片的位置偏向了标准位置的上方
出现了问题，就要调整
现在主要有两种调整方法
第一种是直接把晶振装置安装到原来的标准位置
这种方法听起来很简单，但实际上操作起来很麻烦，需要消耗大量的时间去调整、摸索
首先需要调整一次，蒸镀一次，然后用SEM或其他手段表征测试一次实际厚度，看是否和预测膜厚相符合
如果符合，就说明调整好了，但一发入魂的概率很低
大概率是很难一次弄好，这时候就需要反复进行“调整、蒸镀、测试”过程，直到理论和实际相符合
第二种，是以现在的晶振装置位置，去重新标定各项蒸镀参数，比如Z因数等等
这种方法挺起来也挺简单的，但因为仪器是集成好的，内部的具体原理，以及计算膜厚的公式只有厂家那边知道，对于用户来说，想要自己去标定参数，难度还是有些大的
所以大概率只有把厂家喊过来，才能进行维修，而这种高价的仪器，如果喊来厂家来维修，费用基本都是大几千甚至上万的
两种方法，许秋权衡了一番，最终选择了第一种，毕竟，他有系统可以帮忙摸索嘛
现在，许秋已经把复制到模拟实验室中的这台调试好了，到时候返校过后他打算去一趟江弯，提前把现实中的那台也调好
另外，其实还有第三种调整方法，虽然不是很提倡
点击读下一页,继续阅读 肥美的韭菜 作品《我有科研辅助系统》475 比自己弱的人都在努力，自己又有什么理由不努力呢？（求订阅）